Профіль поляризації РЧ-розпилених самополяризованих тонких плівок PZT Integrated Ferroelectrics Vol

Розділ F: Характеристика роману

  • Список літератури
  • Цитати
  • Метрики
  • Передруки та дозволи
  • Отримати доступ /doi/pdf/10.1080/10584580108215688?needAccess=true

У цій роботі застосовується метод лазерної інтенсивності модуляції (LIMM) для дослідження самополяризованих розпилених тонких плівок Pb (Ti1 − xZrx) O3. За допомогою спектроскопічної еліпсометрії отримано профіль глибини показника заломлення. Вимірювання C-V на зразках різної товщини проводили для визначення ємності інтерфейсу та щільності просторового заряду. Робочу функцію поверхонь Pb (Ti1 − xZrx) O3 оцінювали модифікованим методом Андерсона в установці електронного пучка, використовуючи графіт як еталон.

рч-розпилених

Результати експерименту обговорюються з точки зору утворення просторового заряду та дрейфу вакансій кисню в шарі інтерфейсу під час осадження тонкої плівки. Розглянуто вплив диполів, утворених внутрішніми точковими дефектами, на самополяризацію.